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Spacefine(超精密温控箱)

"Spacefine(超精密温控箱)"的关联类别

  • 专利・特殊科技
  • 洁净室技术

※点击标题、显示分类一览此功能的用法

实现±5 / 1,000℃水平的精密温度控制

对于要求具有高性能定位功能的制造装置(半导体、液晶曝光装置)及精密测定装置(电子天平)、通过直接膨胀式盘管+热气再加热来实现节能、低成本及高精度。

超精密温控箱的结构(外观、前室、主箱体)

  • 直接膨胀式Spacefine单元的设置示例
    • 作为设置于半导体、LCD工厂内的精密温控箱
    • 作为其他需要精密温控的制造室、实验室

  • 采用了高精度多回路调节器
    • 通过2个点传感器对吹出空气进行级联控制
    • 根据设置环境适当地进行干扰补偿控制
  • 洁净度 0.1μm、1级
  • 通过低释气性资材来降低箱体内的化学物质浓度(应对ITRS)
  • 采用了特殊的隔热面板

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