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洁净室技术

对于可为半导体、平板显示器、精密机械以及生物技术等提供最先进生产环境的洁净室技术进行介绍。

洁净室技术:我们的技术和服务

Clean Diffuser

通过设定最佳换气次数、实现所要求的洁净度。

Spacefine(超精密温控箱)

实现±5/1、000°C水平的精密温度控制。

干燥室(低露点制造室)

以锂电池的组装生产为首、为研究医药、化学产品、电子部分、以及精密机器等、提供干燥室系统。

微振动对策

对会影响产品成品率的微振动实施最佳控制。

洁净化施工

在每个工程步骤中提高洁净度、按时间表提供洁净环境。

分子污染对策

这是有关分子污染对策的本公司理念。

洁净室的抗震设计

对于大气社的洁净室的抗震设计(配管、风管及顶棚)进行介绍。

直膨式空调机

无需中央热源设备、即可实现高精度控制。

消音系统

自从1986年引入消音技术以来、我们积累了各种各样的消音技术。

最佳热源控制系统

通过基于模拟操作的最优化控制来实现热源系统的最大节能效果。

Stratherm® System(温度分层型蓄热槽)

这是可有效利用水的密度差的温度分层型蓄热槽。

Super Stratherm • G(地面设置型超级分层型水蓄热槽)

推进热源设备的正常化。对于地面设置型超级分层型水蓄热槽进行介绍。

Freecooling System

本系统不使用冷冻机、而是利用外气生产冷水。

装置类的单元化

通过工厂加工、实现工期缩短。

Louvreme® (立式防水百叶窗)

对于立式防水百叶窗进行介绍。

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