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洁净室技术

我们为半导体、FPD和精密仪器制造业的生产厂商提供清洁车间及其辅助设施、生产管理支持和环保技术。

适当的洁净空气质量 短工期（短工期施工技术）
无化学物质 灵活性
24小时365天运转的应对 环境负荷的降低
生产支援 可行性和舒适性

适当的洁净空气质量

以下将对最适合生产线的洁净环境技术进行介绍。

Clean Diffuser
采用最适当的换气次数来达到要求的洁净度。
Spacefine（超精密温控箱）
实现±5 / 1,000℃水平的精密温度控制。
De-Chemi Cooler®
（净化空气中的化学物质·显热冷却装置）
减少洁净室内的水溶性化学成分。
干燥室
实现-60℃的送风露点温度。
静电对策
对防止静电对产品造成损害的对策进行介绍。
微振动对策
对影响产品成品率的微振动进行最适当的控制。
消音系统
自1986年引进消音技术之后、逐渐积累起了各种各样的消音技术。
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短工期（短工期施工技术）

通过短工期施工、为生产线的提早启动做贡献。

利用网络来实现设计的高速化
通过利用数据库及模拟装置、努力实现设计速度的提高。
装置类的单元化
通过工厂加工来实现短工期。
洁净化施工
提高每道工序步骤的洁净度、按期提供洁净环境。
Tastech （验证系统）
通过Tastech来缩短性能检验工序。
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无化学物质（最适当的分子污染对应技术）

以下将由洁净室的分子污染（化学污染）对策进行介绍。

分子污染对策
对本公司分子污染对策的理念进行介绍。
De-Chemi Cooler®
（净化空气中的化学物质·显热冷却装置）
（链接至适当的洁净空气质量）
减少洁净室内的水溶性化学成分。
洁净室内部装修
提出满足分子污染防止、成本及工期需求的方案。
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灵活性（布局自由的洁净室技术）

以下将对可以灵活应对制造装置的更新及布局变更的技术进行介绍。

Ballroom 的应对
对于微环境的应对进行介绍。
变更应对方法降低现有设备的负荷
（链接至短工期）
对于洁净化施工进行介绍。
双机热备设施
通过采用变频器的双机热备运转来应对变更。
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24小时365天运转的应对（不间断运转技术）

以下将对应对客户生产线装置24小时365天连续运转的技术和专有技术知识进行介绍。

洁净室的抗震设计
对于大气社的洁净室的抗震设计（配管、管道和天花板）进行介绍。
双机热备设施
通过采用变频器的双机热备运转来应对故障及维护。
电源瞬停对策
通过采用瞬停重启继电器和配备了瞬停不间断功能的变频器等来进行应对。
直动式风扇（无皮带）的采用
力争减少维护数量。
可以在运转中更换的过滤器和照明
通过变频控制来抑制波动的发生。
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环境负荷的降低

以下将对有助于CO2减排和节能的技术进行介绍。

Super Stratherm System
（温度分层型蓄热槽）
推进热源设备的节能。对于温度分层型蓄热槽进行介绍。
Super Stratherm • G
（地面设置型超级分层型水蓄热槽）
推进热源设备的节能。对于地面设置型超级分层型水蓄热槽进行介绍。
最佳热源控制系统
通过基于模拟操作的最优化控制来实现热源系统的最大节能效果。
Freecooling
推进热源设备的节能。利用外部空气的冷热来制造用于空调的冷水。
Louvreme® （立式防水百叶窗）
提出推进外部空气处理装置节能的方案。
Eco-Rac®
（没有交叉污染的热回收系统）
从废气中回收废热。
RTO（蓄热式除臭装置）
（VOC处理和防恶臭系统）
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生产支援（制造装置的改善支援）

以下将对支援制造装置改善的系统进行介绍。

微环境的应对
（链接至灵活性）
对洁净空间的局部化技术进行介绍。
Spacefine （超精密温控箱）
（链接至适当的洁净空气质量）
实现±5 / 1,000℃水平的精密温度控制。
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可行性和舒适性（生产环境的改善）

以下将对改善生产环境的系统进行介绍。

局部式空调系统
（独创·特殊技术）
针对大空间工厂的局部式空调。
温度分层式空调系统
（独创·特殊技术）
针对大空间工厂的空调系统。
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